전기전자공학과‧일반대학원 반도체학과 이효창 교수 연구팀이 지난 2월 10일부터 12일까지 열린 제68회 한국진공학회 동계 정기학술대회에서 논문상 및 우수발표상을 수상했다. 

  이효창 교수는 반도체 플라즈마의 공정‧장비‧측정‧제어 관련 연구를 활발히 수행하여 우수 논문을 출판하고 학회지 발전에 기여한 공로를 인정받아 논문상을 수상했다. 

  반도체학과 박사과정 성진후 학생(지도교수 : 이효창)은 2024년 제66회 한국진공학회 동계 정기학술대회에서 이뤄진 플라즈마 분과 구두발표에서 ‘RF 바이어스 전압이 인가된 유도 결합 플라즈마에서 Ag nanoparticles 형성 특성 분석 연구’라는 주제의 연구결과를 발표해 우수발표상을 받았다. 이 연구는 의료, 광학, 반도체 등 다양한 산업 분야에 활용되는 Ag 나노 입자의 형상을 저온 플라즈마를 통해 제어하는 것으로, 플라즈마 물리 변수 측정에 기반하여 나노 입자의 형성 메커니즘과 형상 제어 원리를 규명했다.