반도체시스템전공 이효창 교수 연구실이 제69회 및 제70회 한국진공학회 정기학술대회에서 연구단체상을 비롯해 다수의 포스터발표상을 수상했다. 

  연구단체상은 학술대회에서 우수한 논문 발표 성과를 지속적으로 이어온 연구단체에 수여되는 상이다. 이효창 교수 연구실은 반도체 공정에서 핵심적인 역할을 하는 플라즈마 물성, 진단 및 공정 최적화 관련 연구를 활발히 수행해 왔기에, 그간의 학술적 기여도를 인정받아 이번 상을 수상했다. 

  연구실 소속 학생들의 개인 수상도 이어졌다. 제69회 하계 정기학술대회에서 우수 연구 결과를 발표한 대학원생에게 수여되는 '으뜸포스터발표상'에는 박사과정 박준형 학생과 석사과정 주혜진 학생이 나란히 이름을 올렸다. 박준형 학생은 반도체 공정에 활용되는 펄스 플라즈마 진단 및 장비 해석 연구를, 주혜진 학생은 반도체 공정 측정기술 개발 연구를 각각 발표해 우수성을 인정받았다.

  제70회 동계 정기학술대회 '학부생포스터발표상'은 학사과정 심민경 학생과 최영재 학생에게 돌아갔다. 심민경 학생은 플라즈마 기반 몰리브덴 나노입자 형성 연구를, 최영재 학생은 시뮬레이션과 실험을 활용한 이온빔 최적화 연구를 주제로 발표해, 학부생으로서 가진 우수한 연구 역량을 입증하며 수상의 영예를 안았다.

  이효창 교수 연구실은 반도체 공정 고도화를 위한 플라즈마 기반 핵심 기술 연구를 지속해 오고 있으며, 대학원생과 학부생이 함께 참여하는 연구 체계를 통해 단계별 연구역량을 축적해 왔다. 이번 수상은 이러한 연구 환경과 지도 성과가 학술적으로 평가받은 결과로, 향후 반도체 공정 진단 및 장비 해석 분야 연구의 확장에도 긍정적인 계기가 될 것으로 기대된다.